Электрические скользящие контакты для полупроводникового оборудования

Электрические сдвижные кольца - это высокопроизводительные, высокоточные вращающиеся компоненты полупроводникового оборудования, специально разработанные для автоматизированного производства, высокоточные,и высокой надежности эксплуатационных условий в полупроводниковой промышленностиПри непрерывном вращении на 360° он обеспечивает стабильную передачу мощности, сигналов кодера и различных чувствительных сигналов.Проектированные с центральными отверстиями и дополнительными пневматическими или гидравлическими вращающимися соединениямиЭто интегрированное решение поддерживает широкий спектр полупроводникового оборудования на протяжении всей обработки, упаковки, тестирования,и стадии автоматизации.

Основные приложения в процессе производства полупроводников

Электрические скользящие кольца широко применяются в целом производственном процессе производства полупроводниковых пластинок, упаковки чипов и тестирования готовой продукции,и хорошо подходят для вращающихся механизмов ключевого полупроводникового оборудования.

Основные применения:

1Производство вафелей на переднем конце

Используется в оборудовании, таких как фоторезистентные покрытия и разработчики, машины для гравирования, системы отложения тонкой пленки PVD / CVD и машины CMP.с проходными отверстиями для носителей пластин, вакуумные трубы и газопроводы.

2. Задней упаковки и испытаний

Поддерживает вращающиеся таблицы индексации и механизмы подбора и размещения,с проходными отверстиями для вакуумных линий и кабелей испытаний или приводов.

3. Полный процесс проверки и сортировки

Обеспечивает высокую точность передачи сигнала в вращающихся рабочих столах или системах гимбалов,с проходными отверстиями для фокусных валов линз или приводов зондов.

4Автоматизация и вспомогательное оборудование

Используется в вафле AGV ротационных подъемников, производственных линий роботов, и FOUP обработки систем. поддерживает компактную интеграцию в вращающихся соединений и загрузочных платформ для бесшовного питания, сигнала,и передачи жидкости.